主要用于测量物体的微观表面形貌,配有普通接触式,普通敲击式和磁性敲击式三种探针,分别可进行AFM、DFM和MFM三种模式测量。其中接触式测量AFM,主要用于表面相对比较粗糙和硬度相对小的物体。磁性敲击式(MFM)在测试样品表面形貌的同时,还可以测出表面磁道或磁畴分布状况。 该设备由SPA400多功能扫描探针显微镜(非接触式AFM成像功能;间歇接触式AFM成像功能,相位成像功能;摩擦力成像功能;磁力成像功能,向量扫描,纳米刻蚀功能,力曲线测量模式)、SPI3800N型工作站,含CCD的光学显微镜(放大150倍)及其附件组成。 |