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紫外光刻机

发布日期:  2011-11-04  点击:

所在单位

电信光电系

存放地点

2B111

仪器负责人

牟强

联系电话

15902955605

仪器编号

20020496

中文名称

紫外光刻机

英文名称

 

规格型号

URE-2000/25

校内收费标准

 

校外收费标准

 

生产日期

200203

购进日期

200209

生产厂商

成都中科百奥科技公司

仪器现状

  良好

仪器分类

05080105

产区类别

国产

单价

160000

附件

 

是否对外服务

 

检定情况

 

仪器适用范围

光学薄膜图形刻蚀

主要技术指标

分辨率:2微米;基板尺寸:≤4英寸。

 

 

 

 

 

主要功能及特色 

光学方法刻蚀薄膜。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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