所在单位
电信光电系
存放地点
2B111
仪器负责人
牟强
联系电话
15902955605
仪器编号
20020496
中文名称
紫外光刻机
英文名称
规格型号
URE-2000/25
校内收费标准
校外收费标准
生产日期
200203
购进日期
200209
生产厂商
成都中科百奥科技公司
仪器现状
良好
仪器分类
05080105
产区类别
国产
单价
160000
附件
是否对外服务
检定情况
仪器适用范围
光学薄膜图形刻蚀
主要技术指标
分辨率:2微米;基板尺寸:≤4英寸。
主要功能及特色
光学方法刻蚀薄膜。
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