1. 样品规格:220×∞×70mm;8″Wafer on WT 200M/E;12″Wafer on WT 300M/E with OCA20 L
2. 样品台规格:100×100mm
3. 接触角测量范围:0~180°;测量精度:±0.1°
4. 表面/界面张力测量范围:1×10-2~2×103mN/m;分辨率±0. 01 mN/m
5. 光学系统:自动聚焦(±6mm)6倍变焦透镜(0.7~4.5放大倍率);软件控制可连续调节光强且无滞后作用的卤光灯
6. 视频系统:52幅图像/秒的1/2〞CCIR CCD视频系统,视野范围1.75×1.4~11.7×9mm; 图像分辨率<0.05%;可升级至146幅图像/秒 。
7. 测量方法:悬滴法;附着滴法;斜板法;座滴法;振荡/弛豫法; Lamella法
8. 测量温度:-60~700℃,分辨率0.1k。 |